隨著高速運算、高頻通訊、AI加速器及高效能服務器等應用快速推進，TGV技術成為先進封裝關鍵工藝，具備低介電常數、優異熱穩定性及高密度I/O整合能力，應用于玻璃芯（Glass Core）與2.5D/3D中介層（Interposer）等高階封裝結構，產業應用熱度居高不下，發展潛力龐大，但TGV前段制程中的激光改質質量長期無法實時掌握，成為良率與成本控制的挑戰，尤其是改變不同高低價位的玻璃材質時。

TGV業界知名激光改質設備公司海納光電總經理江朝宗表示：“我們非常欣賞與肯定蔚華科技所推出的業界首創激光斷層掃描檢測設備SP8000G，讓我們能在不破壞玻璃襯底下直接看到激光改質真實分布狀況，這對于我們提升激光改質機性能與質量產生極大幫助。”海納光電長期致力于TGV激光制程材料與工藝開發，對SpiroxLTS技術高度肯定，相信此技術將為激光制程數據化、可視化奠定基礎，并為材料研發與制程調校提供精準平臺。海納光電與蔚華科技的技術互補，展現整合開發與量產應用高度潛力。

SpiroxLTS讓玻璃內部激光改質層可視化，對開發高質量Glass Core產品極為關鍵。過去在材料開發與制程優化階段，需仰賴破壞性方式才能間接推估改質狀態，如今可直接取得非破壞性數據，將大幅縮短開發時程并提升改質均勻性掌控能力。目前為業界極少數符合AI需求之高質量TGV 玻璃芯襯底供貨商之一，晶呈科技股份有限公司表示：“玻璃內部激光改質層可視化，可凸顯晶呈科技玻璃鉆孔之真圓、準直、孔壁平坦度之優異特性，對于玻璃芯襯底量產化及良率提升肯定有幫助。”

根據TGV業界封裝襯底金屬化與增層制程的多家主力廠商表示，TGV金屬化與后段增層對孔徑結構與改質質量要求極高，過去信息取得困難，常導致后段制程挑戰。經過實測驗證，SpiroxLTS非破壞性檢測技術可讓業界在材料與制程驗證階段即導入質量篩選機制，對實現高階封裝TGV襯底的穩定量產，具有關鍵意義。

蔚華科技總經理楊燿州表示：“很榮幸SP8000G能成功解決TGV改質無法被看到的問題，并獲得業界指針性激光改質設備商海納光電、玻璃芯襯底制造商晶呈科技，以及TGV玻璃襯底技術領導廠商欣興電子的共同肯定。除了激光改質檢測，SP8000G亦能非破壞性地精準檢測TGV蝕刻孔腰身位置、孔壁粗糙度與鍍銅孔壁玻璃裂紋，皆為目前TGV業界難以找到的檢測解方。相信以SpiroxLTS技術，能大幅加速推動TGV市場量產時程。”楊燿州進一步指出，SpiroxLTS已優先導入玻璃芯與中介層等高頻高速封裝應用，支持材料評估、制程導入與量產監控，將成為TGV工藝量產的重要推動力。

關于蔚華科技

蔚華科技（股票代碼：3055）是大中華地區測試、封裝、檢測、驗證的專業品牌，為半導體與電子制造產業提供完整解決方案，旗下代理與自有品牌橫跨封測、光學、激光與材料檢測多領域，致力于提供前瞻技術與高附加價值服務。蔚華科技成立于1987年，總部設于新竹，并于上海、蘇州、深圳設有營運與服務據點，更多信息請參閱www.spirox.com。

關于海納光電

海納光電股份有限公司專注于激光精密微加工技術與設備開發，擅長處理半導體與光電產業常用的硬脆材料，包括硅、碳化硅、氮化硅、陶瓷、氧化鋯、光學玻璃、藍寶石、鉆石及特殊金屬，提供微米級精細切割、微孔加工與微結構制程。服務涵蓋半導體、光電、AR/VR、汽車及醫療等產業。除深耕臺灣地區高科技市場外，海納激光系統亦營銷至英、美、日等國際大廠，并提供特約代工與技術開發服務。更多信息請參閱www.hinanomms.com。

關于晶呈科技

晶呈科技為國內極少數掌握高厚度玻璃襯底激光改質核心技術之企業，專注于玻璃芯產品的開發與量產，自創LADY（Laser Arrow Decomposition Yield）制程，具備高厚度玻璃的激光改質、蝕刻與后段清洗整合能力，達成玻璃鉆孔真圓、準直、孔壁平坦、均一及高密度規格要求，能依應用需求客制化改質結構與孔徑設計。晶呈在TGV制程中扮演中游關鍵角色，為整體供應鏈提供穩定且高質量的玻璃基材與制程支持，協助客戶加速先進封裝導入。更多信息請參閱www.ingenteccorp.com。

關于欣興電子

欣興電子為臺灣首批導入TGV（Through Glass Via）玻璃襯底技術的領導廠商，已投入研發逾十年。初期將采用日韓玻璃供貨商完成激光改質與鉆孔，預計自家產線于2025年下半年成熟，并結合既有ABF制程進行載板制造。預期2028年起進入垂直整合量產階段，為高階封裝發展奠定關鍵基礎。更多信息請參閱www.unimicron.com。

在電動車和再生能源應用需求的驅動下，功率半導體組件市場呈現快速成長的趨勢。相較于傳統IGBT硅芯片，碳化硅在高溫高壓的環境下能有更高效率及更少損耗的表現，雖然硅芯片在半導體產業中仍占據主導地位，但已有越來越多的高效能產品逐漸轉向采用第三代半導體等寬禁帶材料作為芯片設計架構的基礎，依EETimes Asia預估，2026年碳化硅電源組件中的車用電子市場將成長至近40億美元。

隨著功率半導體的材料發展，車用電子驗證規范也制定新的標準，ECPE AQG 324也因此成為進入車用電子市場的重要門票。目前全球僅有艾默生/NI旗下SET的德國實驗室可提供完整碳化硅電源組件的質量驗證，蔚華科技與艾默生/NI瞄準市場商機，攜手在臺灣新竹共同建置亞太地區首座功率半導體動態可靠度驗證實驗室，協助亞太客戶進行車用功率半導體的先期動態可靠度驗證服務，可加速客戶的產品研發時程。

蔚華科技總經理楊燿州表示，功率半導體的應用市場龐大，亞太地區為半導體生產制造重心，需求將遠超過全球其他區域。蔚華科技自2019年起與艾默生/NI合作經銷STS測試系統，此次擴大結盟，由艾默生/NI協助指導將德國實驗室的驗證技術轉移至亞洲，蔚華除了負責營運功率半導體動態可靠度驗證實驗室，為亞太地區碳化硅車用模塊客戶提供新產品開發期驗證服務之外，同時也將繼續肩負艾默生/NI重要經銷伙伴的角色，在兩岸推廣艾默生/NI的功率半導體可靠度測試設備，提供DGS/動態HTGB、動態H3TRB/DRB、IOL 與功率循環三大測試系統的銷售，依客戶需求提供驗證及設備的完整解決方案，為客戶提供更實時、專業、可靠的售后服務。

恩艾（艾默生/NI）亞太區副總裁蘇利發（Joseph Soo）表示，艾默生/NI致力于提供高彈性的測試解決方案，協助客戶生產滿足安全標準的產品。此次與蔚華合作建置亞太地區首座功率半導體動態可靠度驗證實驗室，負責協助將德國實驗室的驗證技術轉移至亞洲，可加速亞太地區客戶的產品研發時程，輔以蔚華在兩岸半導體業的客戶關系與專業工程團隊，期望能對亞太地區的功率半導體技術發展提供助力。

關于蔚華科技

蔚華科技（股票代碼：3055）是大中華地區半導體封測解決方案專業品牌，擁有先進的全方位解決方案及產品，提供半導體各個制程與不同產品的測試、封裝、檢測、驗證等設備銷售、應用工程與客戶服務需求，合作伙伴包括NI, Osai, SEMICS, AFORE, ERS, Hamamatsu, ShibaSoku, TASMIT, Toray Engineering, Turbodynamics等全球多家半導體設備領導品牌。蔚華集團以專業分工，提供半導體、電子制造、通信及車用電子等科技產業高質量的整合解決方案。蔚華科技成立于1987年，總部位于臺灣新竹，于上海、蘇州、深圳皆有服務據點。更多信息請瀏覽公司官網 www.spirox.com。

關于NI （現為艾默生旗下一員）

恩艾（NI）正在改變工程師和科學家構建測試、控制和嵌入式設計應用系統的方式。透過使用艾默生/NI的圖形化程序軟件和模塊化硬件平臺，半導體設備的設計者和制造商可以在驗證實驗室和生產車間中提升測試質量和效率，從而縮短上市時間、提高生產力，并顯著降低測試成本。更多信息請瀏覽公司官網 www.ni.com 。

需求迅速爆發 SiC襯底與組件供不應求 唯KOH是高成本痛點

在現今環境永續意識抬頭的全球趨勢下，許多國家已制定電動車的階段性政策目標，SiC芯片需求迅速爆發，尤其用于生產電動汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導體組件，供給量遠遠不及需求。

第三代半導體的襯底材料質量決定下游芯片的可靠度及性能優劣，但SiC長晶速度較慢，且襯底晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進行抽樣檢測，使得SiC芯片制程成本居高不下，目前全球主要襯底廠皆積極投資產能擴充并改善制程，加速產業布局以搶攻市占率。襯底廠與組件廠若能在制程中對材料做全面非破壞性檢測，不僅可減少原本KOH蝕刻的有害化學溶液使用量，更能及早發現問題，進而有效改善制程、提升良率，進而在第三代半導體市場中展現絕佳優勢。

JadeSiC-NK以非線性光學檢測取代現行破壞性KOH蝕刻 可降低成本提高產能  

南方科技總經理王嘉業表示，目前市場上的光學技術只能檢測表面非晶體缺陷，JadeSiC-NK系統采用先進的非線性光學技術，可對全片襯底表面到特定深度進行掃描，反應晶體結構信息，提供晶體缺陷密度及其分布狀況，讓客戶有效掌握襯底質量，未來生產出的組件質量與效能也能更加穩定。

王嘉業進一步說明，JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統專注在穩定且有效地找出襯底中的致命性晶體缺陷（BPD, TSD, MicroPipe, Stacking Fault），相較現行將SiC晶錠切片后取上下二片襯底進行檢測的KOH蝕刻方式，可大幅節省檢測時間與襯底成本。以每個長晶爐每月產出四個晶錠為例，采用JadeSiC-NK后，每個晶錠可省下二片襯底成本（每片6寸襯底以800美元計），因此可推估一個長晶爐每年可省下人民幣56萬元，若是具有100個長晶爐的襯底廠，一年即可省下人民幣5600萬元！此外，JadeSiC-NK也可針對同一個晶錠進行100%的晶圓檢查，進行詳細的晶錠分析和批次追踨分析，協助客戶在高技術門檻的第三代半導體市場加速制程及產量優化。

陽明交通大學光電工程學系講座教授郭浩中表示，蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統，將非線性光學技術應用在第三代半導體的檢測分析，有助突破目前業界在量產及制程改善的技術瓶頸，對于產業鏈發展提供極大推力，期盼此系統能以更有效更穩定的檢測方法，建立業界SiC襯底檢測標準，成為產業界非線性光學技術的領航品牌，引領市場應用持續創新及突破。

從設備代理到自有產品 跨足光學檢測領域 蔚華科技前景可期  

蔚華科技總經理楊燿州表示，考慮經銷代理的不穩定性及追求更好的獲利結構，蔚華不斷加強投資自有產品開發以求推出更貼近客戶需求的解決方案，此次透過并購南方科技，加速自有產品的發展進程，讓蔚華從半導體封測設備跨足光學檢測，首先鎖定極具前景的第三代半導體材料缺陷檢測，對客戶、員工及投資人來說都將是非常振奮人心的新局。

楊燿州進一步指出，蔚華與南方科技自經銷合作以來就秉持共同成長、互相成就的初心，成立先進光學材料檢測實驗室讓獨特的光學檢測技術更快進入業界應用，透過客戶的反復驗證，進而調整產品規格以滿足客戶需求。除了將非線性光學技術應用在本次推出的JadeSiC-NK外，未來也將加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、硅光子等先進光學檢測技術的商業化，持續加大研發能量有效整合集團資源，發揮綜效。

光電科技工業協進會董事長邰中和則表示，非常樂見兩家臺灣企業透過互補雙贏的結合產生綜效，更為產業創造巨大價值。蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統是極具指針性的技術突破，不但對全球第三代半導體業來說是可以大幅降低成本并增加產能的革命性產品，更能讓全球看見蔚華與南方科技在光學領域的技術實力，在未來蓬勃發展的第三代半導體市場扮演關鍵角色。

關于蔚華科技

蔚華科技（股票代碼：3055）是大中華地區半導體封測解決方案專業品牌，擁有先進的全方位解決方案及產品，提供半導體各個制程與不同產品的測試、封裝、檢測、驗證等設備銷售、應用工程與客戶服務需求，合作伙伴包括NI, Osai, SEMICS, AFORE, ERS, Hamamatsu, ShibaSoku, Southport, TASMIT, TESCAN, Toray Engineering, Turbodynamics等全球多家半導體設備領導品牌。蔚華集團以專業分工，提供半導體、電子制造、通訊及車用電子等科技產業高質量的整合解決方案。蔚華科技成立于1987年，總部位于臺灣新竹，于上海、蘇州、深圳、成都、高雄皆有服務據點。更多訊息請瀏覽公司官網 www.spirox.com。

關于南方科技

南方科技成立于2014年8月，創辦團隊集合了光學、材料、物理、信息等跨領域人才，將新穎的光學設計觀念導入光學工程領域。透過先進光學簡單化、模塊化、數字化的核心理念（光學模塊化、數字化、軟件化的核心理念，讓艱深的光學運用更為友善及簡單），使研究人員專注在研究開發工作，改善實驗設計觀念、提升研究效率、縮短研發時程、揮灑研發創意，加速研究與產業技術發展的進程。南方科技以『5D顯微術』與『數字光學』兩大核心技術為基礎，將嶄新的光學觀念與技術導入先進材料分析、生醫影像、顯微3D光學檢測與數字光學應用四大應用領域。在不同的應用領域，南方致力于研發與創新，深入了解行業痛點并且專注解決關鍵問題。更多訊息請瀏覽公司官網 www.southport.com.tw。