彌費科技董事長、CEO繆峰表示："彌費科技立志成為具有全球影響力的半導體設備公司。2018 年，我們開始專注在 AMHS 系統的自主研發，至今已經推出了 33 款AMHS 軟件及相關硬件，并且進入了全球前五大半導體晶圓廠之中的四家。新工廠的啟用標志著彌費科技的研發、生產以及整體運營能力進一步提升。"
半導體晶圓廠自動物料搬運系統AMHS是能夠直接影響半導體晶圓廠的物料運轉、產能績效的核心系統之一，可實現半導體晶圓制造過程中的高效自動化，有效提高晶圓廠生產線運行效率和穩定性，降低人工成本和錯誤率，為客戶降本增效，擴大競爭優勢提供助力。
作為中國領先的半導體晶圓廠AMHS設備整體解決方案供應商，彌費科技完成了從AMHS產品供應商向AMHS系統級供應商的演進。隨著率先完成晶圓廠AMHS系統級整廠訂單交付與驗收，彌費科技已成為國內首家具備整廠級AMHS解決方案、量產能力、項目實施經驗和交付案例的國產替代供應商，填補了國產半導體AMHS系統在該領域的空白。
彌費科技CTO李宏偉介紹，成立至今，彌費科技形成了五大核心競爭力：成套能力，產品組合可以建設整個晶圓廠；正向研發設計能力，從仿真、設計到驗證，全體系保證產品質量；自主研發能力，背后是對整個生態體系的建設；應用能力，核心成員均為來自國內外知名晶圓廠的資深從業者，可以非常精準地指導產品定義；算法能力，可以支撐500 臺甚至1000 臺的天車調度。
歷經多年的持續研發，彌費科技推出了天車核心傳輸設備、協作式機器人、晶圓存儲設備、光罩存儲設備、緩沖存儲設備、上下料口凈化設備等三十余種AMHS設備和軟件調度系統，知識產權數量達到200件以上。AMHS軟硬件產品已累計交付超過30家國內外晶圓廠客戶，同時積累了豐富的技術和項目經驗。
截止目前，彌費科技自主研發的AMHS核心傳送設備天車OHT、存儲設備Stocker都已完成多個版本的技術迭代。在軟件調度系統方面，成立了X-Lab實驗室，基于領先算法持續提升系統效能。該實驗室正從大規模調度的全局優化、機器視覺代替傳感器、可預測性維護三個方向發力，用AI技術為系統賦能。
繆峰表示，彌費科技一路走來不斷開拓壯大，臨港工廠作為彌費科技AMHS進入大批量量產階段重要的生產基地，新工廠交付能力較之前提升了4倍，有效填補了國產半導體AMHS市場空白，彌費科技還將進一步實現8英寸和12英寸大型半導體晶圓廠AMHS的整廠量產交付，并基于技術實力進軍國際市場。
未來，彌費科技將繼續加大研發投入，提速產能部署，以高效、精準、安全的AMHS產品與解決方案，以"持續創造客戶價值"為導向，為客戶提供卓越的技術支持和服務，助力集成電路產業實現持續節能增效，提升市場競爭力。
上海2023年9月27日 /美通社/ -- 9月25日至27日北京微電子國際研討會暨IC WORLD大會在京隆重召開，彌費科技董事長、CEO繆峰受邀出席并在27日的專題論壇「集成電路專用設備的機遇與挑戰」中帶來《適用于半導體晶圓廠的國產自動物料傳送系統AMHS》的主題演講，分享半導體晶圓廠國產化AMHS的關鍵性技術挑戰與市場機會，并首次公開了在半導體領域整廠級AMHS國產替代成功交付的最新案例。
作為中國領先的半導體晶圓廠AMHS設備整體解決方案供應商，彌費科技完成了從AMHS產品供應商向AMHS系統級供應商的演進，采用公司AMHS硬件設備及軟件的整廠訂單已被國內最大的專注于車規級碳化硅芯片制造企業廣東芯粵能半導體有限公司驗收通過。此次成功交付展示了彌費科技在該領域的技術實力和解決方案的可靠性，也代表著彌費科技成為國內首家具備晶圓廠整廠級AMHS解決方案、量產能力、項目實施經驗和交付案例的國產替代供應商，填補了國產半導體AMHS系統在該領域的空白。
AMHS是一套復雜的自動化搬運系統，對工廠自動化尤為重要。以大陸目前量產的先進工藝節點28nm為例，其平均光刻層數近50層、工藝步驟超過1000步、生產周期90天左右，一個4萬片月產能28nm工藝節點的全自動晶圓廠每天的晶圓盒傳送量超10萬次，相比于晶圓廠AMHS系統，面板廠的傳送量僅為半導體晶圓廠的1%。晶圓廠搬送的載體一般是5-10公斤的晶圓盒，而面板廠一般是幾百斤的玻璃基板，搬送效率和復雜度完全不是一個級別。對于面板廠和晶圓廠的AMHS系統來說，是兩套完全不同的標準，不能兼容。
半導體芯片制造流程復雜，生產工序達上千道，晶圓制作過程技術要求較高。晶圓廠的AMHS系統由硬件設備及全自動控制軟件構成，數量眾多的AMHS設備在AMHS軟件的控制下實現全自動物料智能搬運，實現晶圓廠無人化運轉，一套高效的AMHS系統可以在極大程度上減少在制品的等待時間，對保持和提升晶圓廠的產量、稼動率、良率等核心生產指標至關重要。隨著芯片工藝節點的不斷升級，晶圓廠的工藝制造流程與AMHS系統的結合已成為晶圓廠生產建設必不可少的重要規劃，對于晶圓廠至關重要。
*一般一座12寸40nm 40000片月產能的晶圓廠通常包含約200臺天車構成的天車傳送系統、約25-30臺大型存儲設備和10000臺以上的空中緩存單元，以及其他各種形式的傳輸、存儲 、凈化設備。
"通過自動化、智能化的改造可大幅提升設備生產效率和產品良率， AMHS可實現半導體晶圓廠生產線間物料的無塵自動搬運，減少搬運過程的振動，滿足半導體的精密化生產需求，提升半導體的生產效率，已成為眾多先進晶圓廠的標配。"芯粵能表示，"此次彌費科技AMHS系統級解決方案驗證通過并順利交付，提高了芯粵能工廠的自動化水平，實現了智能化管理，有望幫助芯粵能大幅提高生產效率，保證產品質量穩定性。"
彌費科技董事長兼CEO繆峰表示，今年第四季度，預計彌費科技將進一步實現8英寸和12英寸半導體晶圓廠AMHS的整廠量產交付，這意味著海外寡頭在過去20～30年對半導體AMHS這一細分賽道上壟斷局面將被徹底打破。彌費科技作為半導體自動化領域的后起之秀，憑借優異的產品技術能力和在行業內取得的良好口碑，已成為中國境內極少數能提供成套半導體晶圓廠AMHS的中國本土供應商之一。
關于芯粵能
廣東芯粵能半導體有限公司（簡稱："芯粵能"），是一家面向車規級和工控領域的碳化硅芯片制造和研發企業，產品主要包括碳化硅SBD/JBS、MOSFET、IGBT等功率器件，主要應用于新能源汽車、工業電源、智能電網以及光伏發電等領域，是目前國內最大的專注于車規級碳化硅芯片制造的企業，分別被廣東省、廣州市和南沙區列為重點建設項目。
關于彌費科技
彌費科技（上海）股份有限公司（簡稱："彌費科技"）是中國領先的半導體AMHS設備及核心零部件供應商，公司專注于生產、研發、銷售適用于半導體晶圓廠的自動物料搬運系統AMHS（Automated Material Handling System）。公司總部位于上海，是上海市專精特新企業，國家高新技術企業；生產基地位于上海臨港新片區，是臨港新片區集成電路產業重點簽約企業。彌費科技作為領先的成套化半導體晶圓廠AMHS中國供應商，不僅成功打破了國外廠商對AMHS這一半導體產業鏈細分領域的壟斷，更實現了產品性能關鍵指標領先國內技術，對標國際一流。