在2025年韓國半導體展覽會上，Park Systems推出了擴展版FX大型樣品AFM系列產品，包括用于300毫米晶圓分析的Park FX300，以及集成了紅外（IR）光譜技術的Park FX200 IR和FX300 IR。FX大型樣品AFM系列通過自動化的探針識別與更換、二維碼系統以及AI驅動的激光對準功能，提升了可用性，實現了流暢操作。StepScan功能進一步提高了效率，使研究人員能夠以最少的人工干預分析各種特性。（美通社）
